杭州晶驰机电有限公司
Hangzhou Jingchi Electromechanical Co., Ltd.

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                              单腔立式外延炉（Single chamber vertical epitaxial furnace）
                              第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备（Second generation silicon carbide wafer corrosion cleaning equipment）
                              感应式长晶炉
                              热退火炉（Hot annealing furnace）
                              水平双腔外延炉（Horizontal double cavity epitaxial furnace）
                              碳化硅粉料合成炉

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