晶驰机电
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核心产品
CORE PRODUCTS
小圆柱式微波等离子体沉积(CVD)系统
品牌
晶驰
类型
长晶
编号
J1
抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
品牌
晶驰
类型
长晶
编号
J2
裂缝耦合微波等离子体沉积系统
品牌
晶驰
类型
长晶
编号
J3
915MHz微波等离子体沉积系统(裂缝天线耦合)
品牌
晶驰
类型
长晶
编号
J4
第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备
品牌
晶驰
类型
外延
编号
T1
单腔立式外延炉
品牌
晶驰
类型
外延
编号
T2
水平双腔外延炉
品牌
晶驰
类型
外延
编号
T3
DRY-60A型热处理炉(电动)
品牌
晶驰
类型
外延
编号
T4
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