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单腔立式外延炉

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￥ 0.00
编号 T2
类型 外延
品牌 晶驰
19357105850
产品详情

       1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;

   

       2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长；

   

       3、更长的维护周期,更低的耗材成本；