水平双腔外延炉

    1、水平双腔布置,硬件成本低于两台单腔外延炉;

    2、双腔工艺和维护独立,实现不停机连续生产；

    3、兼容4/6寸晶圆外延生长,外延层质量优异;

    4、全自动上下料，释放人工成本;